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    測試的一般步驟介紹
    來源:與非網(wǎng)(節(jié)選) | 作者:chnchip | 發(fā)布時間: 2021-08-02 | 2551 次瀏覽 | 分享到:

    測試的主要目標(biāo)是檢驗(yàn)半導(dǎo)體芯片的質(zhì)量是否達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn),從而消除不良產(chǎn)品、并提高芯片的可靠性。另外,經(jīng)測試有缺陷的產(chǎn)品不會進(jìn)入封裝步驟,有助于節(jié)省成本和時間。電子管芯分選 (EDS) 就是一種針對晶圓的測試方法。

     

    EDS是一種檢驗(yàn)晶圓狀態(tài)中各芯片的電氣特性并由此提升半導(dǎo)體良率的工藝。EDS可分為五步,具體如下 :

     

     

    01電氣參數(shù)監(jiān)控 (EPM)
    EPM是半導(dǎo)體芯片測試的第一步。該步驟將對半導(dǎo)體集成電路需要用到的每個器件(包括晶體管、電容器和二極管)進(jìn)行測試,確保其電氣參數(shù)達(dá)標(biāo)。EPM的主要作用是提供測得的電氣特性數(shù)據(jù),這些數(shù)據(jù)將被用于提高半導(dǎo)體制造工藝的效率和產(chǎn)品性能(并非檢測不良產(chǎn)品)。

     

    02晶圓老化測試
    半導(dǎo)體不良率來自兩個方面,即制造缺陷的比率(早期較高)和之后整個生命周期發(fā)生缺陷的比率。晶圓老化測試是指將晶圓置于一定的溫度和AC/DC電壓下進(jìn)行測試,由此找出其中可能在早期發(fā)生缺陷的產(chǎn)品,也就是說通過發(fā)現(xiàn)潛在缺陷來提升最終產(chǎn)品的可靠性。

     

    03檢測
    老化測試完成后就需要用探針卡將半導(dǎo)體芯片連接到測試裝置,之后就可以對晶圓進(jìn)行溫度、速度和運(yùn)動測試以檢驗(yàn)相關(guān)半導(dǎo)體功能。具體測試步驟的說明請見表格。

     

     

    04修補(bǔ)
    修補(bǔ)是最重要的測試步驟,因?yàn)槟承┎涣夹酒强梢孕迯?fù)的,只需替換掉其中存在問題的元件即可。

     

    05點(diǎn)墨
    未能通過電氣測試的芯片已經(jīng)在之前幾個步驟中被分揀出來,但還需要加上標(biāo)記才能區(qū)分它們。過去我們需要用特殊墨水標(biāo)記有缺陷的芯片,保證它們用肉眼即可識別,如今則是由系統(tǒng)根據(jù)測試數(shù)據(jù)值自動進(jìn)行分揀。




    源文地址:https://www.eefocus.com/component/501426

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